Conas a oibríonn Magnetron Sputtering?
Is modh sil-leagan fisiceach gaile (PVD) é sputtering Magnetron, aicme de phróisis sil-leagan bhfolús chun scannáin tanaí agus bratuithe a tháirgeadh.
Eascraíonn an t-ainm "magnetron sputtering" as úsáid réimsí maighnéadacha chun iompar na gcáithníní ian luchtaithe a rialú i bpróiseas sil-leagan maighnéadrón.Éilíonn an próiseas seomra ardfholús chun timpeallacht ísealbhrú a chruthú le haghaidh sputtering.Téann an gás a chuimsíonn an plasma, gás argón de ghnáth, isteach sa seomra ar dtús.
Cuirtear voltas ard diúltach i bhfeidhm idir an chatóid agus an anóid chun ianú an gháis támh a thionscnamh.Imbhuaileann iain argóin dhearfacha ón bplasma leis an spriocábhar atá luchtaithe go diúltach.Is féidir le gach imbhualadh de cháithníní ardfhuinnimh a bheith ina chúis le adaimh ón spriocdhromchla dul amach sa timpeallacht folúis agus iad a thiomáint isteach ar dhromchla an tsubstráit.
Táirgeann réimse maighnéadach láidir dlús plasma ard trí na leictreoin a theorannú in aice leis an spriocdhromchla, ag méadú an ráta sil-leagan agus cosc a chur ar damáiste don tsubstráit ó bhuamáil ian.Is féidir le formhór na n-ábhar feidhmiú mar sprioc don phróiseas sputtering ós rud é nach bhfuil gá le leá nó le galú an bhunábhair don chóras sputtering magnetron.
Paraiméadair Táirge
Ainm táirgí | Sprioc tíotáiniam íon |
Grád | Gr1 |
Íonachta | Níos mó 99.7% |
Dlús | 4.5g/cm3 |
MOQ | 5 phíosa |
Méid díola te | Φ95*40mm Φ98*45mm Φ100*40mm Φ128*45mm |
Iarratas | Cumhdach le haghaidh meaisín PVD |
Méid stoic | Φ98*45mm Φ100*40mm |
Spriocanna Eile atá ar fáil | moluibdín(Mo) Chrome(Cr) TiAl Copar(Cu) Siorcóiniam(Zr) |
Iarratas
■Cumhdach ciorcaid iomlánaithe.
■Taispeántais painéil dromchla painéil chomhréidh agus comhpháirteanna eile.
■Maisiú agus sciath gloine, etc.
Cad iad na táirgí is féidir linn a tháirgeadh
■Sprioc árasán tíotáiniam ard-íonachta (99.9%, 99.95%, 99.99%)
■Nasc caighdeánach snáithithe le haghaidh suiteáil éasca (M90, M80)
■Táirgeadh neamhspleách, praghas inacmhainne (cáilíocht inrialaithe)
Eolas Ordú
Ba cheart an fhaisnéis seo a leanas a áireamh i bhfiosrúcháin agus in orduithe:
■ Trastomhas, Airde (cosúil le Φ100 * 40mm).
■ Méid na snáithe (cosúil le M90 * 2mm).
■ Cainníocht.
■ Éileamh íonachta.