Sprioc Rothlach Miotail
Cuirtear réimsí maighnéadacha agus leictreacha orthogonal i bhfeidhm idir an sprioc sputtering (catóide) agus an anóid.Agus líon isteach an gás támh riachtanach (gás Ar de ghnáth) sa seomra ardfholús.Faoi ghníomhaíocht réimse leictrigh, déantar gás Ar a ianú ina hiain dheimhneacha agus ina leictreoin.Cuirtear ardvoltas diúltach áirithe i bhfeidhm ar an sprioc, bíonn tionchar ag an réimse maighnéadach ar na leictreoin a astaíonn an sprioc, méadaítear an dóchúlacht go n-ardóidh an gás oibre, déantar plasma ard-dlúis in aice leis an gcatóid, agus déantar difear do na hiain Ar. ag fórsa Lorentz.Ansin luasghéarú chun eitilt go dtí an spriocdhromchla, agus bombard an dromchla sprice ag luas ard, ionas go leanann na hadaimh sputtered ar an sprioc prionsabal an chomhshó móiminteam, ag eitilt ón spriocdhromchla go dtí an tsubstráit, agus taisceadh scannán ard-fhuinneamh cinéiteach.
D'fhonn ráta úsáide an sprioc-ábhar a fheabhsú tuilleadh, déantar catóide rothlach le héifeachtacht úsáide níos airde a dhearadh, agus úsáidtear sprioc-ábhar feadánacha le haghaidh sciath sputtering.Éilíonn feabhsú trealaimh sputtering an sprioc a athrú ó chruth comhréidh go cruth feadánacha, agus is féidir le ráta úsáide an sprioc rothlach feadánacha a bheith chomh hard le 70%, rud a réitíonn den chuid is mó an fhadhb a bhaineann le húsáid íseal an sprioc cothrom.
Ainm táirgí | Sprioc rothlach miotail |
Ábhar | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Méid díola te | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855mm ID-160/OD-180x1800mm Is féidir é a phróiseáil freisin de réir riachtanais shonracha na gcustaiméirí |
MOQ | 3 phíosa |
Pacáiste | Ply cás adhmaid |
Iarratas
Is cineál nua de mhodh sciath gaile fisiciúil é sciath sputtering.I gcomparáid leis an modh sciath galú, tá buntáistí soiléire aige
i go leor gnéithe.Baineadh úsáid as spriocanna sputtering miotail i go leor réimsí.An príomh-iarratas ar sprioc rothlach.
■Cealla gréine
■Gloine ailtireachta
■Gloine uathoibríoch
■leathsheoltóir
■Teilifís scáileáin chomhréidh, etc
Eolas Ordú
Ba cheart an fhaisnéis seo a leanas a áireamh i bhfiosrúcháin agus in orduithe:
☑Sonraíocht sprice ID×OD×L (mm).
☑Cainníocht ag teastáil.
☑Déan teagmháil linn le do thoil le haghaidh tuilleadh riachtanas speisialta.